VUP-4 UNIVERSAL VAKUM STANSIYASI YORDAMIDA PURKASH ORQALI YUPQA GRAFIT PLYONKALARINI OLISH - Bafoev , Bakhrom Botirovich; Hojiqurbonov , Nozim Qosimovich (Educational Research in Universal Sciences, 2024)
Maqolada zamonaviy mikroelektronikada keng qo‘shimcha tizimga yotqizish usullariga kontseptual talablar qurilishi. Cho‘kish kompozitsiyasi substratga eng yuqori cho‘kish jarayoni va atom energiya tushishi ushbu usullardan har qanday shakllanish va tuzilishga ega bo‘lgan plyonkalarni olish uchun imkon beradi.