Фахриддинов ЖШу. ПЛАНИРОВАНИЕ ОПЕРАЦИЙ НА ПОЛУПРОВОДНИКОВОМ ПРОИЗВОДСТВЕ: PROBLEMS, МЕТОДЫ РЕШЕНИЯ И БУДУЩИЕ ЗАДАЧ. ERUS [Internet]. 2023 Nov. 17 [cited 2024 Sep. 17];2(14 SPECIAL):937-40. Available from: http://erus.uz/index.php/er/article/view/4559