ИССЛЕДОВАНИЕ СИЛИЦИДООБРАЗОВАНИЯ ПРИ ТЕРМОДИФФУЗИИ Mn И Ba В КРЕМНИЙ - Нормуродов, Д.А.; Ибадуллаев , Ж.; Ташатов, А.К. (Educational Research in Universal Sciences, 2023)
В настоящей работе исследованы характеристики тонких пленок Mn2Si3 и BaSi2, полученных с поверхности кремния методом термодиффузии в приповерхностном пограничном слое. Установлено, что интенсивность, энергетическое состояние и форма спектра Оже – электронов и тип химической связи определяются переходным процессом Оже – пик валентных электронов. Комплексный анализ показал, что если меняется только интенсивность, то химической связи нет, если Оже – пик расщепляются, то химическая связь есть.