ИССЛЕДОВАНИЕ СИЛИЦИДООБРАЗОВАНИЯ ПРИ ТЕРМОДИФФУЗИИ Mn И Ba В КРЕМНИЙ
Keywords:
гетероструктурных пленок, силицид, наноэлектроника, эмиссионные свойства, граница раздела, оже-электронные спектры, интенсивность, концентрация.Abstract
В настоящей работе исследованы характеристики тонких пленок Mn2Si3 и BaSi2, полученных с поверхности кремния методом термодиффузии в приповерхностном пограничном слое. Установлено, что интенсивность, энергетическое состояние и форма спектра Оже – электронов и тип химической связи определяются переходным процессом Оже – пик валентных электронов. Комплексный анализ показал, что если меняется только интенсивность, то химической связи нет, если Оже – пик расщепляются, то химическая связь есть.
References
Нормурадов М.Т., Умирзаков Б.Е., Ташатов А.К., Халиков Ю.Д.// Узбекский физический журнал. - Ташкент, 1997. - № 2. - С. 38-41.
Халиков Ю.Д., Умирзаков Б.Е., Ташатов А.К., Нормурадов М.Т. //Узбекский физический журнал. – Ташкент, 1998. - №3. - С. 51-53.
Халиков Ю.Д., Ташатов А.К., Умирзаков Б.Е., Нормурадов М.Т.// Известия РАН. Серия физическая. – Москва, 1994. - №10 (58). - С. 90-92.
Усманов М., Умирзаков Б.Е., Ташатов А.К.// Узбекский физический журнал.–Ташкент, 1995. -№ 6.- С.31-34.
Нормурадов М.Т. “Экспериментальное исследование электронной структуры твердых тел. - Ташкент: изд. ТашПИ, 1987. - 56 с.
Shimizu R. Qvantitative analysis by Auger electron spectroscopy (invited paper).// Jap. J. of Appl. Phys. – 1983. - № 11. - Р. 1631-1642.
Palmberg P.W. Qvantitative Auger electron spectroscopy using elemental sensitivity factors.// J. Vac. Sci. Technol. – 1976. - V.13, № 1. - Р. 314-318.
Самсонов Г.В. Силициды и их использование в технике. – Киев: Изд. АН УССР, 1959. – 386 с.
