ПЛАНИРОВАНИЕ ОПЕРАЦИЙ НА ПОЛУПРОВОДНИКОВОМ ПРОИЗВОДСТВЕ: PROBLEMS, МЕТОДЫ РЕШЕНИЯ И БУДУЩИЕ ЗАДАЧ
Abstract
В данной статье рассматриваются проблемы планирования в полупроводниковом производстве. Начиная с описания производственного процесса, мы определяем типичные проблемы планирования, которые можно встретить в системах полупроводникового производства. Описаны проблемы планирования партий, проблемы планирования цехов, проблемы планирования с использованием вторичных ресурсов, проблемы планирования нескольких заказов на одно задание и проблемы планирования, связанные с кластерными инструментами.
References
Balasubramanian, H., Mönch, L., Fowler, J. W., M. Pfund, Genetic Algorithm Based Genetic Algorithm Based Scheduling of Parallel Batch Machines with Incompatible Job Families to Minimize Total, 42(8), 1621-1638, (2004)
Barua, A., Narasimhan, R., Upasani, A., Uzsoy, R., Implementing Global Factory Schedules in Face Stoch Implementing Global Factory Schedules in the Face of Stochastic Disruptions, International Journal of Production Research, 43(4), 94. Research, 43(4), 94-109, (2005)
Битран Г.Р., Тирупати Д., Разработка и внедрение системы составления расписания для завода по производству пластин, Международный журнал производственных исследований, 43(4), 94-10, (2005)
Bixby, R., Burda, R., Miller, D., Short-Interval Detailed Production Scheduling in 300mm semiconductor manufacturing using Mixed Mixed Mixed Scheduling. Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, 148-154, (2006)
Brucker, P., Knust, S. Complex Scheduling, Springer, Berlin, Heidelberg, (2006)
Brucker, P., Gladky, A., Hoogeveen, H., Kovalyov, M.Y., Potts, C.N., Tautenhahn, T., van de Velde, S., Scheduling a Batching Machine, Journal of Scheduling, 1, 31-54, (1998)
Бюро, М., Дозере-Перес, С., Югма, К., Вермариен, Л., Мария, Ж.-Б., Моделирование Результаты и формализм для глобально-локального планирования в производстве полупроводников, Труды Зимней конференции по моделированию 2007, 1768-1773, (2007)
Абдуллаева О. С., Исманова К. Д., Мирзаев Ж. И. Организация учебной деятельности во время лекционных, практических, лабораторных занятий //Молодой ученый. – 2014. – №. 19. – С. 487-490.
Исманова К. Д. и др. Этапы процесса формирования учебных умений у учащихся колледжей //Молодой ученый. – 2015. – №. 12. – С. 753-755.
Erkaboev U.I, Rakhimov R.G., Sayidov N.A. Influence of pressure on Landau levels of electrons in the conductivity zone with the parabolic dispersion law // Euroasian Journal of Semiconductors Science and Engineering. 2020. Vol.2., Iss.1.
Rakhimov R.G. Determination magnetic quantum effects in semiconductors at different temperatures // VII Международной научнопрактической конференции «Science and Education: problems and innovations». 2021. pp.12-16.
Gulyamov G, Erkaboev U.I., Rakhimov R.G., Sayidov N.A., Mirzaev J.I. Influence of a strong magnetic field on Fermi energy oscillations in two-dimensional semiconductor materials // Scientific Bulletin. Physical and Mathematical Research. 2021. Vol.3, Iss.1, pp.5-14
Erkaboev U.I., Sayidov N.A., Rakhimov R.G., Negmatov U.M. Simulation of the temperature dependence of the quantum oscillations’ effects in 2D semiconductor materials // Euroasian Journal of Semiconductors Science and Engineering. 2021. Vol.3., Iss.1.
